E.A. Fischione社製 電子顕微鏡用試料作成装置 イオンミリング装置他E.A. Fischione社製 電子顕微鏡用試料作成装置 イオンミリング装置他
E.A. Fischione社 製品は株式会社ニューメタルスアンドケミカルスコーポレーション・機械部 柴田様 電話：03(5202)5665 Fax:03(3271)5860 メール：shibata@newmetals.co.jp と弊社業務提携取扱商品です。 それぞれの詳しい商品のカタログ、商品の説明をご希望の方は柴田様或いは弊社まで連絡いただきたく存じます。
FIB 後処理用 イオンミリング装置 Model 1040 ナノミル
SIM画像を観察しながら、ピンポイントで狙った位置をイオンミリングします。 ビーム径が1μm〜に絞られており、グリッドからのレデポの心配がありません。
〇超低エネルギーのアルゴンビーム
〇FIB加工による表面のダメージ層除去に最適。
〇FIB以外で作成した試料のダメージ層除去に最にもご利用いただけます。
〇室温から極低温でのミリングが可能です。
〇試料の出し入れを素早く簡単に行えます。
〇コンピューター制御によりミリング条件の設定が簡単です。
TEM 試料用 イオンミリング装置 Model 1051 TEM ミル
最新式のイオンミリング/ポリッシングシステムです。 あらゆる材質に対して、大面積の電子線透過領域を持つ高品質のTEM試料を作成することが可能です。
〇独立に制御可能な2つのTrueFocusイオン源を搭載。
〇100eV〜10keVの範囲で小さなビーム径を維持。
〇-15°〜10°の範囲でミリング角度を連続的に変更。
〇液体窒素による試料の冷却（温度可変）
〇試料のロッキング（首振り）及び回転運動。
TEM試料用 イオンミリング装置 PicoMill Model 1080
微細電子工学と半導体TEM試料に特化したTEM試料用イオンミリング装置です。
〇TEMスタイルのゴニオメーター。
〇インサイチュの画像確認が可能。
〇プログラムによる自動終了が可能。
〇最大加速電圧 10keV。
SEM 試料用 イオンミリング装置 Model 1061 SEM ミル
最新式のイオンミリング/ポリッシングシステムです。 コンパクトで精密な装置構成で、あらゆる材質・用途に対して、高品質で再現性の高いSEM試料の作成が可能です。
〇独立に制御可能な2つのTrueFocusイオン源を搭載。
〇ビーム径の調整が可能。
〇0°〜10°の範囲でミリング角度を連続的に変更。
〇赤色レーザーによる試料の高さ（厚さ）を自動検知。
〇平面試料、断面試料の両方に対応。
〇液体窒素による試料の冷却（温度可変）。
〇試料のロッキング（首振り）及び回転運動。
大口径 SEM 試料用 イオンミリング装置 Model 1062 トリオンミル
平面試料および断面試料にスケールの大きなミリング処理を加えます。
〇独立に制御可能な3つのTrueFocusイオン源を搭載。
〇ビーム径の調整が可能。
〇0°〜10°の範囲でミリング角度を連続的に変更。
〇赤色レーザーにより試料の高さ（厚さ）を自動検知。
〇平面試料、断面試料の両方に対応。
〇液体窒素による試料の冷却（温度可変）。
〇試料のロッキング（首振り）及び回転運動。
半導体用 ミリスケールディレイヤーミリング装置 Model 1064 チップミル
ミリスケールでナノメーターの平滑なディレイヤーを行うイオンミリング装置です。
〇最大ミリングエリア 10×10 mm
〇AIフィードバック制御によりミリング工程を自動化。
電子顕微鏡用コンタミ除去装置 Model 1020 プラズマクリーン
電子顕微鏡に入れる前に、試料を素早くクリーニングできます。 炭素質の汚れを除去するだけでなく、電子顕微鏡観察中に発生するコンタミを抑える効果が得られます。
〇試料及び試料ホルダーを同時にクリーニング。
〇汚れのひどい試料でも2分以下でクリーニングが完了。
〇試料本来の構造及び特性には影響を及ばさない。
〇オイルフリーの真空システム。
〇あらゆるブランドのTEM及びSTEMホルダーに対応。
〇SEM試料のクリーニングも可能。
〇試料ホルダー真空保管容器の真空引きに対応。
電子顕微鏡用コンタミ除去装置 Model 1070 ナノクリーン
Model1020同様、電子顕微鏡に入れる前に試料を素早くクリーニング出来ます。 炭素質の汚れを除去するだけでなく、電子顕微鏡観察中に発生するコンタミを抑える効果が得られます。
〇試料、試料ホルダー、スタブを同時にクリーニング。
〇汚れのひどい試料でも2分以下でクリーニング完了。
〇スパッタフリーで試料本来の構造及び構造及び特性には影響がない。
〇2本の試料ホルダーの挿入が可能。
〇あらゆるブランドのサンドエントリー型SEM,TEM、STEMホルダーに対応。
〇チャンバー上部が開閉し、大型試料のクリーニングも可能。
〇複数のガス供給口がありガスの混合も可能。
〇試料ホルダー真空保管容器の真空引きに対応。
TEM用金属試料の薄片化を目的とした電解研磨装置です。 試料の前後方向から電解液を当てるツインジェット方式により、僅か数分で電子透過性の薄片試料を作成できます。
〇ツインジェット方式により、試料の両面を同時に研磨。
〇数分間で電子透過試料を作成。
〇アーチファクトのない試料を作成。
〇電解研磨または化学エッチングが可能。
〇各種パラメータの調整が簡単。
〇電解液への耐腐食の高いサンプルセル。
〇高感度の自動研磨終了システム。
Model 170 超音波ディスクカッター
超音波振動により、任意の形状の試料から、円板、円柱、四角形などの形状を切り抜く為の装置です。
〇透過電子顕微鏡（TEM)試料の抜打ちに最適。
〇断面TEM観察（XTEM）用試料の長方形ウェハーの作成が可能。
〇10μm〜10mmの厚さの抜打ちに対応。
〇ダイヤルゲージにより深さ方向の位置を測定（10μm精度）。
〇抜打ち完了時に自動停止（導通検知センサー）。
Model 200 ディンプリンググラインダー
高品質のTEM試料を作成するための最新式の試料薄膜化装置です。 使用方法が簡単で、再現性の高い薄片化が可能です。
〇グラインディング速度を自動制御。
〇カウンターウェイト方式によりグランインディング加重を調整。
〇グラインディングホイールと試料ステージの回転と独立して制御。
〇磁気マウントの採用により試料の位置調整が簡単。
〇キーパッドによる簡単操作。
〇透過光または反射光を用いた試料の観察。
Model 130 試料打ち抜きパンチ
薄い金属片から高品質の円板試料を打抜く為のパンチです。 精密なパンチとダイプレートの組み合わせにより、試料へのストレスやゆがみを防ぎます。 スプリングが内蔵されたリターンプランジャーの働きにより、円板試料は常にダイプレート表面に戻されます。 抜打ち径は3.0mm、オプションとして、安定性の高い定番を付けることが可能です。
Model 160 試料グラインダー
機械研磨によりTEM試料を均一に薄片化する為の治具です。 最終工程のディンプリングやイオン三ミリングの時間を大幅に短縮できます。
〇高い精度の再現性。
〇ダイヤルを回して試料の最終的な厚さを調整。
〇均一で平行な仕上がり。
〇直径18mmまでの試料の取り付けが可能。
〇ディンプリング、イオンミリングの前工程として最適。
〇付属のプラテンはModel200ディンプリンググラインダーにそのまま取り付けが可能。
Model 180 断面試料作成用キット
高品質なTEM用断面試料作成するためのキットです。 断面試料の積層、保持、観察領域のアラインメント、接着層の均一化等の工程に必要な治具一式を含んでおります。 超音波ディスクカッターModel170と共にご利用ください。
Model 9020 真空ポンピングステーション
5本までのTEM用試料ホルダーを真空下に保管できます。
〇安定性の高い金属ベースを採用。
〇Model1020プラズマクリーナーによる真空引きが可能。
Model 9030 ターボポンピングステーション
クライオトモグラフィホルダーとTEM試料台ホルダー向けのパワフルでカスタマイズ可能な真空ポンピングステーションです。
〇Model2550 クライオトモグラフィのディワーを真空引きします。
〇FEIまたはJEOLのシングルホルダーを搭載しながら、最大4つ搭載可能なクワッドホルダーも使用可能。
E.A.Fischione社製 トモグラフィホルダー
Model 2020 1軸トモグラフィホルダー Model 2030 ウルトラナローギャップ
トモグラフィホルダーModel 2040 2軸トモグラフィホルダー 室温での電子線トモグラフィーに最適 ギャップ3mm以下のポールピースに最適 平面上の超高精度回転が可能 一軸傾斜、傾斜角度：±80° 1軸傾斜、傾斜角度：±90° 一軸傾斜、傾斜角度：±70° 視野：1.6mm（70°傾斜時） 視野：ホルダーによる制限なし 視野：950um （70°傾斜時） 試料サイズ：φ3mm、厚さ250um 試料サイズ：1.5mm角またはφ1.5mm 試料サイズ：φ3mm、厚さ 100um 解像度：0.34nm 解像度：0.34 解像度：0.34nm （全方位） Model 2045 モーター駆動2軸
トモグラフィホルダーModel 2050軸回転 トモグラフィホルダー Model2550 クライオトランスファー
トモグラフィホルダー平面上の超高精度回転が可能 棒状または円錐状試料のトモグラフィー 低温下での試料の移動およびトモグラフィーに最適 モーター駆動による高いスループット FIB試料のトモグラフィーに最適 一軸傾斜、傾斜角度：±80° 一軸傾斜、傾斜角度 ±70° アトムプローブ電解イオン顕微鏡用試料に最適 試料グリッドサイズ：φ3mm 視野：950um （70° 傾斜時） 一軸傾斜、、傾斜角度：360° 視野：2mm （０°傾斜時） 試料サイズ：φ3mm 厚さ 100um 試料サイズ：1.8mmカートリッジ：ベース直径1mm以下 解像度：0.18nm (0° 傾斜時） 解像度：0.34nm (全方位） 解像度：0.34nm (全方位） 冷却温度：-175℃以下
| 〒101-0021東京都千代田区外神田5-3-11 |
| 応研商事株式会社 |
| TEL:03(5826)8642 FAX:03(5826)8643 |
| URL: http://www.okenshoji.co.jp |
